◆ウェハ−メーカーのキャリヤからプ

    ロセスキャリヤへの移載が手動に

    て容易に行えます。

◆ほぼ全てのキャリヤに対応してい

    ます。特殊キャリヤの場合は相談

    ください。

◆6インチ専用、8インチ専用

◆アルミ製、PVC製、その他特殊対

    応致します。

◆6インチ8インチ共用、金属キャリヤ

    から樹脂キャリヤへの移載等の特

    殊品も対応致します。

◆オリフラ合わせ

◆Wafer laser marker

◆サンプラ−

◆Washing basket

◆Valve box

◆Manual device

◆保管庫

We design and produce a various facilities and tools.